环境对基于气浮导轨的光栅测长系统影响分析

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目前国内测长仪器的测量精度达到0.1μm级,但是由于各地方检测单位、使用单位对仪器使用环境千差万别,因此无法保证高精度仪器测量精度的准确性.本文通过三组数据及在不同环境下使用情况对仪器精度影响的对比分析及原理分析,阐述主要环境问题对高精度仪器示值误差的影响.在消除以上环境影响的情况下,可以看出测量仪器的准确性大幅度提高,且误差的影响呈线性减小.因此在提升仪器精度的同时,仪器的使用环境同样非常重要.
作者：宋彬辉彭万军王世雷
作者单位：青岛前哨精密机械有限责任公司,山东·青岛,266045
母体文献：山东省航空航天学会2017学术年会论文集
会议名称：山东省航空航天学会2017学术年会  
会议时间：2017年10月1日
会议地点：济南
主办单位：山东省航空航天学会
语种：chi
分类号：TH1TH7
关键词：光栅测长系统  气浮导轨  使用环境  示值误差
在线出版日期：2020年11月30日
基金项目：
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2024-12-3 00:04 上传 环境对基于气浮导轨的光栅测长系统影响分析.pdf

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