大口径离轴非球面反射镜高精度数字化加工技术——智能加工技术

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大口径离轴非球面反射镜是高分辨率、大视场空间光学遥感器的核心元件,在空间光学遥感领域应用非常广泛.本文针对空间大口径离轴非球面的技术特点,开展了轻型大口径离轴非球面反射镜的全链路数字化加工技术研究.选取典型离轴非球面样件进行加工指标的优化分配和工艺验证,首先应用超声精密铣磨技术直接铣磨成型离轴高次非球面,成型精度达5μmRMS;然后,用智能机械手数控研抛技术进行快速研磨和快速抛光至面形精度约30nmRMS,最后采用离子束纳米修形技术对其进行精抛光,最终面形精度RMS值优于12nm.
作者：徐领娣 肖正航 王加朋 代琛 张继友 于建海
作者单位：北京空间机电研究所北京振兴计量测试研究所
母体文献：2017航天先进制造技术国际研讨会论文集
会议名称：2017航天先进制造技术国际研讨会  
会议时间：2017年6月21日
会议地点：深圳
主办单位：中国机械工程学会
语种：chi
分类号：TG2TQ1
关键词：空间光学遥感器  非球面反射镜  数字化加工  精度控制
在线出版日期：2020年6月22日
基金项目：
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