微纳相控线阵换能器的声场分析与测试

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本文研究制备的微纳线性相控阵超声换能器是一种传统平面超声相控阵工艺和微加工工艺相结合的用于微尺度特征超声检测的超声线性相控阵换能器,检测分辨率达10-100微米量级,工作频率达10-100MHz量级,可以穿透多种材质对微结构进行检测,检测精度不受污垢、油脂以及汗水的影响,不但可以对微结构表面,还可以对亚表面和次表面的3D特征进行检测.本文重点分析阵元参数与横向声场的关系,为提高换能器的性能指标提供一些理论参考;其次,对阵元的阻抗及谐振频率进行测试,为换能器与超声信号发射/接收电路之间提供阻抗匹配数据,保证换能器能够获得最大的电功率,也可以在制作超声换能器的过程中,为匹配特定的超声检测仪器,提供电路设计中的相应数据.
作者：姜雪娇 刘梦伟 王文 师芳芳
作者单位：中国科学院声学研究所,北京100190;中国科学院大学,北京100049中国科学院声学研究所,北京100190
母体文献：2018年全国声学大会论文集
会议名称：2018年全国声学大会  
会议时间：2018年11月1日
会议地点：北京
主办单位：中国声学学会
语种：chi
分类号：
关键词：超声换能器  微纳相控线阵  阵元参数  横向声场
在线出版日期：2021年12月15日
基金项目：
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2024-12-1 21:04 上传 微纳相控线阵换能器的声场分析与测试.pdf

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