基于声电效应的声表面波器件的仿真计算与测试

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传感器技术在信息时代的今天扮演着越来越重要的角色,传感器在人类的日常生活生产中已逐渐变得不可或缺.声表面波传感器凭借着灵敏度高、响应速度快、体积小、功耗低等特点,引起了科学界的广泛兴趣.近年来,随着声表面波技术的广泛研究,声电效应作用在声表面波器件中的研究也越来越多.本文基于声电效应,给出了声表面波器件在声电相互作用影响下的理论仿真计算以及测试结果.结果表明,理论计算和测试结果吻合度很高.
作者：杨涛 余灵郎 傅邱云 郑志平 李红浪 罗为
作者单位：教育部敏感陶瓷工程研究中心,光学与电子信息学院,华中科技大学,湖北武汉430074中国科学院声学研究所,北京100190
母体文献：2018年全国声学大会论文集
会议名称：2018年全国声学大会  
会议时间：2018年11月1日
会议地点：北京
主办单位：中国声学学会
语种：chi
分类号：TE1P63
关键词：声表面波器件  声电效应  延迟线  结构设计
在线出版日期：2021年12月15日
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