基于HCTFEM的有限长SAW器件精确仿真

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声表面波器件日益精细化设计与理论研究发展均迫切需要更加精确的方法实现器件模拟.尤其是对器件中有限长栅格阵或周期性被破坏的非同步栅格区域的仿真,传统的耦合模模型等具有周期性边界条件假设的模拟工具已经无法满足要求.格林函数结合有限元方法一度是国际公认的最严格的有限长SAW器件精确仿真模型,但随着温度补偿、新型压电薄膜以及任意形状甚至复合材料电极等新型SAW器件的涌现,采用有限元(FEM)代替FEM/BEM逐渐成为研究的热点.本文首先对现有的HCT-FEM方法进行扩展，使其包含悬浮指边界条件。提出了若干软件加速的方法。最后以SAW射频标签作为算例，通过HCT-FEM软件与FEMBEM说明软件的计算精度与计算速度。
作者：赵旭鹏 李红云 韩韬
作者单位：上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240上海交通大学船舶海洋与建筑工程学院,上海200240
母体文献：2018年全国声学大会论文集
会议名称：2018年全国声学大会  
会议时间：2018年11月1日
会议地点：北京
主办单位：中国声学学会
语种：chi
分类号：
关键词：声表面波器件  层次级联  有限元  射频标签  悬浮指
在线出版日期：2021年12月15日
基金项目：
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2024-12-1 20:07 上传 基于HCTFEM的有限长SAW器件精确仿真.pdf

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