基于FeCo点阵薄膜的SAW电流传感器理论分析

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明显的磁滞效应一直是沉积磁致伸缩铁钴(FeCo)薄膜的声表面波(SAW)磁传感器的瓶颈问题,对此本文提出FeCo薄膜的点阵式设计以提高传感器的灵敏度.传感器以128°YX-LiNbO3为压电基片,延迟线的声传播路径上沉积的FeCo点阵薄膜在被测电流作用下发生磁致伸缩应变,引起声表面波速度的改变.结合有限元方法和耦合模理论,首先提取了沉积FeCo磁致伸缩点阵薄膜的SAW电流传感器件各部分的耦合模参数,然后利用P矩阵模型进行级联得到传感器在不同电流条件下的频率响应,理论分析表明FeCo薄膜的点阵设计有效提升了传感器的灵敏度,传感器灵敏度可达20.3KHz/A.
作者：贾雅娜王文薛旭峰梁勇
作者单位：中国科学院声学研究所,超声技术中心实验室,北京100190
母体文献：2018年全国声学大会论文集
会议名称：2018年全国声学大会  
会议时间：2018年11月1日
会议地点：北京
主办单位：中国声学学会
语种：chi
分类号：TS6TN8
关键词：电流传感器  声表面波  铁钴薄膜  点阵式设计
在线出版日期：2021年12月15日
基金项目：
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2024-12-1 20:07 上传 基于FeCo点阵薄膜的SAW电流传感器理论分析.pdf

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