T_CSTM 00313-2021 基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

标准编号：T/CSTM00313—2021
中文标题：基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法
英文标题：Testingmethodofopticalconstantsfor0pticalthinfilmsbasedonspectro-photo-metricmethod
国际标准分类号：17.180.01光学和光学测量综合
中国标准分类号：N35
国民经济分类：C305玻璃制品制造
发布日期：2021年10月18日
实施日期：2022年01月18日
起草人：马孜、姚德武、封巍、罗舒、郑环其、李斌成、易葵、张伟丽、赵元安
起草单位：西南技术物理研究所，中国科学院上海光学精密机械研究所。
范围：本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。
主要技术内容：本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。

关键词：中关村材料试验技术联盟,T/CSTM,玻璃制品制造,常数,光谱,测试

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