GBT 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
Generalrulesfornanometer-scalelengthmeasurementbySEM

摘要:本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm～500nm的点或线的间距。

标准编号：GB/T20307-2006
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2006年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2007年1月1日
关键词：长度,长度测量,测量,显微镜,电子装置,纳米,光学扫描器,LENGTH,LENGTHMEASUREMENT,MEASUREMENT,MEASURING,MEASUREMENTS,MICROSCOPES,ELECTRONICALLY-OPERATEDDEVICES,OPTICALSCANNERS

GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则.pdf

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