GBT 23414-2009 微束分析.扫描电子显微术.术语

微束分析.扫描电子显微术.术语
Microbeamanalysis.Scanningelectronmicroscopy.Vocabulary

摘要:本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语，也包括已经在ISO23833中定义的术语。本标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外，本标准的某些术语定义，也适用于相关领域的文件〔例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。

标准编号：GB/T23414-2009
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2009年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2009年1月1日
关键词：显微镜,显微分析,扫描,术语

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