GBT 27760-2011 利用Si111晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
Testmethodforcalibratingthez-magnificationofanatomicforcemicroscopeatsubnanometerdisplacementlevelsusingSi(111)monatomicsteps

摘要:本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。

标准编号：GB/T27760-2011
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2011年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2012年1月1日
关键词：显微技术,显微镜,光学仪器,高度测量,校准,MICROTECHNIQUE,MICROSCOPES,OPTICALINSTRUMENTS,ALTITUDEMEASUREMENT,CALIBRATING,CALIBRATION

GB/T 27760-2011 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法.pdf

2024-9-26 16:12 上传 GBT 27760-2011 利用Si111晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法.pdf

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