[仪器、仪表] GBT 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

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基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
Measuringmethodfornanopositioningandscanningstagebasedonflexiblehingemechanismandpiezoactuator

摘要:本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台(以下简称为平台)的测量条件、测量系统和测量方法。本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。

标准编号：GB/T38614-2020
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2020年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2020年1月1日
关键词：

GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法.pdf

2024-9-26 16:05 上传

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铰链, 柔性, 驱动器, 纳米, 扫描

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