[JB机械] JBT 13872-2020 平面相移干涉仪

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2024-9-26 15:17 | 查看全部阅读模式

平面相移干涉仪
Phaseshiftinterferometerforflat

摘要:本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式与基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪。

标准编号：JB/T13872-2020
标准类型：
发布单位：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2020年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2021年1月1日
关键词：

JB/T 13872-2020 平面相移干涉仪.pdf

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相移, 干涉仪, 平面

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