净化涂胶台通用规范
Generalspecificationsforresist-coatingstageswithpurifiedrooms
摘要:本标准规定了净化涂胶台的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备，其它类型的涂胶设备也可参照使用。
标准编号：SJ/T11181-1998
标准类型：
发布单位：CN-SJ
发布日期：1998年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1998年1月1日
关键词：净化涂胶台,通用规范,试验方法,检验规则
SJ/T 11181-1998 净化涂胶台通用规范.pdf
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