GBT 37254-2018 高纯碳化硅 微量元素的测定

高纯碳化硅微量元素的测定
Highpuritysiliconcarbide-Determinationoftraceelements

摘要:本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-OES）法和电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）法测定高纯碳化硅中微量元素含量的方法。本标准适用于碳化硅质量分数含量大于或等于99.9%的高纯碳化硅材料中铝、砷、钙、铬、铜、铁、汞、钾、镁、锰、钠、镍、铅、硫、钛、锌等16种元素的测定。各元素的测定范围见表1（以质量分数计）。

标准编号：GB/T37254-2018
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2018年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2019年1月1日
关键词：

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