硅电容微差压敏感器件的研制 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf
<p>论文《硅电容微差压敏感器件的研制》介绍了基于硅微加工技术设计的一种高灵敏度微差压传感器。该器件利用电容变化原理，实现对微小压力差的精确检测。通过优化结构设计和工艺流程，提高了器件的线性度和稳定性。研究结果表明，该传感器具有良好的性能，适用于精密测量领域。</p>文档为pdf格式，1.17MB，总共5页。</br>
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