反应磁控溅射制备CrAlN_AlON纳米多层涂层的微观结构和力学性能 - 中国热处理技术路线图高层论坛暨第八届中国热处理活动周.pdf
<p>本文研究了通过反应磁控溅射法制备的CrAlN/AlON纳米多层涂层的微观结构与力学性能。实验结果表明，该涂层具有良好的致密性和界面清晰度。通过调整工艺参数，可优化涂层的硬度和耐磨性，为高性能涂层的应用提供了理论依据和技术支持。</p>文档为pdf格式，1.1MB，总共6页。</br>
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