孪生磁控溅射制备氮化铬涂层的研究 - 2012全国荷电粒子源、粒子束学术会议.pdf
<p>论文《孪生磁控溅射制备氮化铬涂层的研究》探讨了利用孪生磁控溅射技术制备氮化铬（CrN）涂层的工艺与性能。研究通过优化溅射参数，如气压、功率和基底温度，获得了具有高硬度和良好结合力的CrN涂层。结果表明，该方法能有效提高涂层的致密性和均匀性，适用于高温和耐磨环境。论文为氮化铬涂层的制备提供了新的思路和技术支持。</p>文档为pdf格式，0.03MB，总共1页。</br>
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