GBT 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法.pdf
<h3>一、基本信息</h3><p>文档名称：GBT 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法</p>
<p>文档格式：pdf格式</p>
<p>文档大小：0.13MB</p>
<p>总页数：6页</p>
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<h3>二、简介</h3>
<p>《GBT 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法》是中国国家标准，规定了使用扫描电子显微镜对微米级长度进行测量的方法。该标准适用于材料科学、半导体制造等领域，为微小结构尺寸的精确测量提供了技术依据。标准中详细描述了测量原理、仪器要求、样品制备、操作步骤及数据处理方法，确保测量结果的准确性与可重复性。通过扫描电镜的高分辨率成像能力，能够实现对微米级物体尺寸的直观观察和定量分析，广泛应用于科研和工业检测中。</p>
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<h3>三、预览</h3>
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