T_CCGA 90004—2023_泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法.pdf
<h3>一、基本信息</h3><p>文档名称：T_CCGA 90004—2023_泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法</p>
<p>文档格式：pdf格式</p>
<p>文档大小：1.18MB</p>
<p>总页数：12页</p>
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<h3>二、简介</h3>
<p>《T_CCGA 90004—2023_泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法》是一项针对泛半导体行业尾气处理设备性能评估的团体标准。该标准规定了尾气处理设备在分解和移除有害气体方面的测试方法，旨在提高环保水平和生产安全。通过科学、规范的测试流程，帮助企业准确评估设备的净化效果，确保符合国家环保要求。该标准适用于各类泛半导体制造过程中产生的废气处理系统，为行业提供统一的技术依据和检测规范。</p>
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<h3>三、预览</h3>
<img src="https://d.z3060.com/docthumbnail/202509/06/dppb5v4x2t4.webp" title="T_CCGA 90004—2023_泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法" alt="T_CCGA 90004—2023_泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法">
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