T_CI 961—2025_半导体设备用碳化硅陶瓷零部件.pdf
<h3>一、基本信息</h3><p>文档名称：T_CI 961—2025_半导体设备用碳化硅陶瓷零部件</p>
<p>文档格式：pdf格式</p>
<p>文档大小：0.35MB</p>
<p>总页数：40页</p>
</br>
<h3>二、简介</h3>
<p>《T_CI 961—2025_半导体设备用碳化硅陶瓷零部件》是一项针对半导体制造中关键材料的行业标准。该标准规定了碳化硅陶瓷零部件的技术要求、测试方法及检验规则，适用于半导体设备中高温、高腐蚀环境下的部件使用。通过规范产品质量和性能，提升半导体制造过程的稳定性和可靠性。标准的制定有助于推动我国半导体产业的自主化进程，增强相关产品的国际竞争力。同时，为生产企业提供统一的技术依据，促进产业链上下游协同发展。</p>
</br>
<h3>三、预览</h3>
<img src="https://d.z3060.com/docthumbnail/202509/06/53uiqupj2mo.webp" title="T_CI 961—2025_半导体设备用碳化硅陶瓷零部件" alt="T_CI 961—2025_半导体设备用碳化硅陶瓷零部件">
页:
[1]