一、基本信息
文档名称：T_CI 961—2025_半导体设备用碳化硅陶瓷零部件
文档格式：pdf格式
文档大小：0.35MB
总页数：40页
二、简介
《T_CI 961—2025_半导体设备用碳化硅陶瓷零部件》是一项针对半导体制造中关键材料的行业标准。该标准规定了碳化硅陶瓷零部件的技术要求、测试方法及检验规则，适用于半导体设备中高温、高腐蚀环境下的部件使用。通过规范产品质量和性能，提升半导体制造过程的稳定性和可靠性。标准的制定有助于推动我国半导体产业的自主化进程，增强相关产品的国际竞争力。同时，为生产企业提供统一的技术依据，促进产业链上下游协同发展。
三、预览
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