T_CIET 1279—2025_碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT）.pdf
<h3>一、基本信息</h3><p>文档名称：T_CIET 1279—2025_碳化硅单晶生长技术规范物理气相传输法（PVT）</p>
<p>文档格式：pdf格式</p>
<p>文档大小：0.77MB</p>
<p>总页数：12页</p>
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<h3>二、简介</h3>
<p>《T_CIET 1279—2025 碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT）》是一项针对碳化硅单晶生长的技术标准，规定了采用物理气相传输法（PVT）制备碳化硅单晶的工艺流程、设备要求、质量控制及检测方法。该规范适用于碳化硅半导体材料的生产与应用，旨在提高产品质量和一致性，推动相关产业的规范化发展。</p>
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<h3>三、预览</h3>
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