JCT2372-2016 集成电路用石英舟.pdf
<h3>一、基本信息</h3><p>文档名称：JCT2372-2016 集成电路用石英舟</p>
<p>文档格式：pdf格式</p>
<p>文档大小：0.74MB</p>
<p>总页数：8页</p>
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<h3>二、简介</h3>
<p>《JCT2372-2016 集成电路用石英舟》是一项关于集成电路制造过程中关键部件——石英舟的技术标准。该标准规定了石英舟的结构、尺寸、材料性能及检测方法，确保其在高温工艺中的稳定性和可靠性。石英舟主要用于承载硅片进行热处理，其质量直接影响集成电路的生产良率和性能。该标准的发布为行业提供了统一的技术规范，促进了产品质量的提升和产业的规范化发展。</p>
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<h3>三、预览</h3>
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