基于FabryPerot的高灵敏度局部放电检测传感器
文档名：基于FabryPerot的高灵敏度局部放电检测传感器
摘要：提出了一种用于局部放电检测的高灵敏度微型光纤法布里—珀罗(F-P)传感器.利用MEMS技术由单模光纤端面和具有波纹结构的氮化硅(Si3N4)膜构成.实验分析了传感器不同膜片结构的性能.结果表明:所提出的传感器1kHz声信号下,声压为38.86mPa时,信噪比为80.18dB,最小可探测声压为3.07μPa/Hz1/2.此外,该传感器具有平坦的频率响应和线性的声压响应,同时具有极高的灵敏度和微小的尺寸,适合局部放电的检测实际应用.
作者：吴明孝李雪桓周少珍杨威付刚Author：WUMingxiaoLIXuehuanZHOUShaozhenYANGWeiFUGang
作者单位：国网河南省电力公司电力科学研究院,河南郑州450000
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(7)
分类号：TP212TP216.1
关键词：光纤传感器光纤法布里—珀罗氮化硅膜波纹膜结构
Keywords：fiber-opticsensorfiberFabry-Perotsiliconnitridemembranecorrugatedmembranestructure
机标分类号：TN713TM411TM835.1
在线出版日期：2023年7月28日
基金项目：国网河南省电力公司科技攻关项目基于Fabry-Perot的高灵敏度局部放电检测传感器[
期刊论文]传感器与微系统--2023, 42(7)吴明孝李雪桓周少珍杨威付刚提出了一种用于局部放电检测的高灵敏度微型光纤法布里—珀罗(F-P)传感器.利用MEMS技术由单模光纤端面和具有波纹结构的氮化硅(Si3N4)膜构成.实验分析了传感器不同膜片结构的性能.结果表明:所提出的传感器1kHz声信号下...参考文献和引证文献
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