基于HTCC的LVDT位移传感器敏感芯体设计
文档名：基于HTCC的LVDT位移传感器敏感芯体设计
摘要：针对传统漆包线工艺制备的线性可变差动变压器(LVDT)位移传感器无法在高温环境下工作的问题,提出一种基于高温共烧陶瓷(HTCC)技术制备耐高温LVDT位移传感器敏感芯体的方法.按0～20mm的量程范围要求,对敏感芯体进行合理优化后,所制备的敏感芯体测量精度可在±1％FS之内与仿真结果相符合.该制备方法在提升耐高温性能的同时可保证测量精度,具有一定的实际应用前景.
作者：徐冬杨思远咸婉婷张宁李程达Author：XUDongYANGSiyuanXIANWantingZHANGNingLIChengda
作者单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150028
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(3)
分类号：TP212
关键词：高温共烧陶瓷线性可变差动变压器位移传感器敏感芯体
机标分类号：TP212TU311TM245.1
在线出版日期：2023年3月27日
基金项目：基于HTCC的LVDT位移传感器敏感芯体设计[
期刊论文]传感器与微系统--2023, 42(3)徐冬杨思远咸婉婷张宁李程达针对传统漆包线工艺制备的线性可变差动变压器(LVDT)位移传感器无法在高温环境下工作的问题,提出一种基于高温共烧陶瓷(HTCC)技术制备耐高温LVDT位移传感器敏感芯体的方法.按0～20mm的量程范围要求,对敏感芯体进行合理优...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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