基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制
文档名：基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制
摘要：提出了一种基于微纳光栅泰伯(Talbot)效应检测原理的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过理论分析与有限元仿真软件相结合,验证了光栅MOEMS加速度计检测机理,同时仿真得到其结构灵敏度为1.21μm/gn,工作模态频率为153.76Hz.另外,为了提升其线性工作范围,采用电磁驱动的方式进行闭环控制.采用通电导线在磁场中产生的安培力来平衡加速度计产生的惯性力,以达到闭环反馈控制,理论上可将加速度计的线性工作范围从0.83gn提升至4.32gn,提升近5倍左右.
作者：徐浩东金丽吴倩楠王兵权彭海峰李孟委Author：XUHaodongJINLiWUQiannanWANGBingquanPENGHaifengLIMengwei
作者单位：中北大学前沿交叉科学研究院,山西太原030051;中北大学仪器与电子学院,山西太原030051;中北大学仪器与智能省级未来技术学院,山西太原030051
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(12)
分类号：TP212
关键词：泰伯效应加速度计光栅闭环控制
Keywords：Talboteffectaccelerometergratingclosed-loopcontrol
机标分类号：
在线出版日期：2024年1月3日
基金项目：国家自然科学基金基于光栅泰伯效应MOEMS加速度计的闭环反馈控制[
期刊论文]传感器与微系统--2023, 42(12)徐浩东金丽吴倩楠王兵权彭海峰李孟委提出了一种基于微纳光栅泰伯(Talbot)效应检测原理的微光机电系统(MOEMS)加速度计,通过理论分析与有限元仿真软件相结合,验证了光栅MOEMS加速度计检测机理,同时仿真得到其结构灵敏度为1.21μm/gn,工作模态频率为153.76H...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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