GBT 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
Nanotechnology-Methodforthemeasurementofthenanofilm-thicknessbyatomicforcemicroscopy

摘要:本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。

标准编号：GB/T36969-2018
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2018年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2018年1月1日
关键词：

GB/T 36969-2018 纳米技术  原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法.pdf

GBT 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法.pdf

文件大小:

478.38 KB

高速下载