会议论文《靶电流对掺钨类金刚石膜的结构与摩擦学行为的影响》探讨了靶电流对掺钨类金刚石膜微观结构及摩擦学性能的影响。研究通过改变靶电流,分析其对膜层成分、晶体结构和表面形貌的影响,并评估其摩擦系数和磨损性能。结果表明,适当调整靶电流可优化膜层质量,提高其耐磨性和稳定性,为高性能类金刚石膜的制备提供了理论依据。
文档为pdf格式,0.65MB,总共5页。
举报