会议论文《负偏压对线性离子束沉积类金刚石薄膜的结构和性能的影响》探讨了在类金刚石薄膜制备过程中，负偏压对薄膜结构与性能的影响。研究通过线性离子束沉积技术，分析不同负偏压条件下薄膜的微观结构、硬度及摩擦学性能。结果表明，适当调节负偏压可优化薄膜的致密性和性能，为类金刚石薄膜的应用提供了理论依据和技术支持。
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