本文介绍了调制周期对ZrB2_AlN纳米多层膜结构和机械性能的影响。通过实验研究发现，调制周期的变化显著影响薄膜的微观结构及硬度、弹性模量等机械性能。适当的调制周期可优化层间界面质量，提高材料的综合性能。该研究为纳米多层膜的设计与应用提供了重要参考。
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