聚焦离子束在LiNbO3及KTP等晶体上的亚微米刻蚀研究 - 全国第十二届电子束离子束学术年会、第九届电子束焊接学术交流会、第十一届离子源学术交流会、高能束加工技术研讨会、第十届粒子加速器学术交流会暨荷电粒子源、粒子束会议.pdf

查看全部 · 2026-1-12 17:45

会议论文《聚焦离子束在LiNbO3及KTP等晶体上的亚微米刻蚀研究》探讨了利用聚焦离子束技术对锂铌酸盐和钾钛氧磷酸盐晶体进行亚微米级刻蚀的工艺与效果。该研究为光电子器件的微加工提供了重要参考，展示了聚焦离子束在高精度材料加工中的应用潜力。

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