会议论文《纳米尺度线宽粗糙度测量技术》介绍了在2008年全国几何量精密测量技术学术交流会上提出的纳米级线宽粗糙度的测量方法。该文探讨了高精度测量技术在微电子制造中的应用，分析了影响测量精度的关键因素，并提出了改进测量准确性的策略，对提升纳米制造工艺水平具有重要参考价值。
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