离子束技术挑战浅结工艺的发展态势及启示 - 全国第十二届电子束离子束学术年会、第九届电子束焊接学术交流会、第十一届离子源学术交流会、高能束加工技术研讨会、第十届粒子加速器学术交流会暨荷电粒子源、粒子束会议.pdf

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2026-1-12 17:09 | 查看全部阅读模式

会议论文《离子束技术挑战浅结工艺的发展态势及启示》探讨了离子束技术在浅结工艺中的应用与挑战，分析了当前技术发展趋势及未来方向。文章结合全国多届学术会议成果，总结了离子束在半导体制造中的关键作用，并提出了相关技术改进的建议，对推动高能束加工技术发展具有重要参考价值。

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