会议论文《磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN_a-C_H(N)复合薄膜的研究》介绍了采用磁过滤阴极真空弧法（MF-CVA）制备纳米结构复合薄膜的技术。研究重点分析了薄膜的微观结构与性能，探讨了ZrCN与a-C_H(N)的复合机制及其在高硬度、耐磨性方面的应用潜力，为高性能功能薄膜的制备提供了理论依据和技术支持。
文档为pdf格式，0.67MB，总共5页。
举报
