会议论文《磁控溅射Ti-Si-N纳米复合超硬膜的研究 - 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛》探讨了采用磁控溅射技术制备Ti-Si-N纳米复合超硬膜的工艺与性能。研究分析了不同Si含量对薄膜硬度、结构及耐磨性的影响，表明该类薄膜具有优异的机械性能和应用潜力，为高性能涂层材料的发展提供了理论依据和技术支持。
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