会议论文《硅单晶锭加工测量方法及仪器开发》介绍了用于硅单晶锭加工过程中的测量技术与相关仪器的开发。文章针对硅单晶锭的尺寸、形状及表面质量等关键参数，提出了一系列测量方法，并设计了相应的检测设备。该研究为提高硅单晶锭的加工精度和产品质量提供了技术支持，具有重要的工程应用价值。
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