会议论文《甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响》探讨了在不同甲烷流量条件下，高掺硼金刚石多晶薄膜的生长形态变化。研究通过实验分析表明，甲烷流量对薄膜的表面形貌、晶粒尺寸及均匀性具有显著影响。该成果为优化金刚石薄膜制备工艺提供了理论依据和技术参考。
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