会议论文《智能双室真空镀膜机研制》发表于第19届中国过程控制会议,介绍了新型智能双室真空镀膜机的设计与研发。该设备通过优化结构和引入智能控制技术,提高了镀膜效率与均匀性。研究旨在解决传统设备在工艺控制和能耗方面的不足,具有重要的工业应用价值。
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