多晶硅设备用炭_炭板材的研制 - 第21届炭—石墨材料学术会议.pdf

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2026-1-12 12:43 | 查看全部 阅读模式

会议论文《多晶硅设备用炭_炭板材的研制》介绍了针对多晶硅生产过程中高温、腐蚀性环境需求而开发的新型炭-炭复合材料。该研究通过优化原料配比与制造工艺,显著提升了材料的热稳定性与机械强度。论文详细分析了炭-炭板材的性能特点,并探讨了其在多晶硅设备中的应用前景,为相关领域的技术进步提供了重要参考。

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多晶硅设备用炭_炭板材的研制 - 第21届炭—石墨材料学术会议
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