会议论文《石英振梁加速度计微细加工工艺研究》发表于第11届全国敏感元件与传感器学术会议，主要探讨了石英振梁加速度计的微细加工技术。文章详细分析了加工过程中的关键工艺参数，如光刻、蚀刻和沉积等，旨在提高器件的精度与稳定性。研究对推动高灵敏度、小型化加速度计的发展具有重要意义。
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