会议论文《溅射膜片微应变与精密测量弹簧组合技术用于毫米级位移测量的分析与实现》探讨了结合溅射膜片微应变传感与精密弹簧结构的新型位移测量方法。该技术通过优化材料特性与结构设计，提升了测量精度与灵敏度，适用于高精度工业检测领域。研究为毫米级位移测量提供了可靠的技术方案，具有重要的应用价值。
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