会议论文《基底温度对反应磁控溅射氮化铝薄膜的影响》探讨了基底温度对氮化铝薄膜性能的影响。研究通过控制不同基底温度，分析其对薄膜结构、成分及性能的影响。结果表明，基底温度对薄膜的结晶质量与致密性有显著影响，为优化氮化铝薄膜制备工艺提供了理论依据。
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