文档名：基于MEMS谐振式气压传感器的数字高度计研制
摘要：基于一种高精度MEMS谐振式气压传感器研制了用于辅助导航高度通道定位的数字高度计,利用谐振式压力传感器采集大气静压,并进行气压高度转换.采用复杂可编程逻辑器件(CPLD)+单片机(MCU)的硬件架构,通过等精度数字频率计和16位模/数(A/D)转换器测量气压传感器输出的频率信号和电压信号,并进行温度补偿;然后分析气压高度转换过程中的误差来源,通过对拟合的气压进行IIR数字滤波并且根据实际大气和温度条件进行原理误差补偿,提高了高度输出精度.实验结果表明:数字高度计的气压测量在整个工作温度范围内都具有良好的精度,满行程最大误差小于0.02％FS;实测气压高度转换的误差小于0.8m,具有良好的工程应用价值.
作者：范贤光 冒海凌 王昕 许英杰Author：FANXianguang MAOHailing WANGXIN XUYingjie
作者单位：厦门大学航空航天学院,福建厦门361000;厦门大学福建省传感技术重点实验室,福建厦门361000
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(10)
分类号：TP212TH89
关键词：数字高度计 MEMS谐振式压力传感器 温度补偿
Keywords：digitalaltimeter MEMSresonantpressuresensor temperaturecompensation
机标分类号：TP212TM935.1TP393.06
在线出版日期：2023年11月6日
基金项目：基于MEMS谐振式气压传感器的数字高度计研制[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(10)范贤光 冒海凌 王昕 许英杰基于一种高精度MEMS谐振式气压传感器研制了用于辅助导航高度通道定位的数字高度计,利用谐振式压力传感器采集大气静压,并进行气压高度转换.采用复杂可编程逻辑器件(CPLD)+单片机(MCU)的硬件架构,通过等精度数字频率计和...参考文献和引证文献
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