文档名：集成式陶瓷压力传感器结构设计与测试分析
摘要：本文设计并制备了一种集成式陶瓷压力传感器.首先基于电容式压力传感器工作原理和薄板变形理论,对传感器敏感结构进行建模和仿真分析.将设计的信号调理电路集成在印刷电路板(PCB)上,PCB通过导电结构PIN针与敏感结构紧贴在一起,采用压缩弹簧实现针脚连接.同时设计了传感器敏感结构工艺制备流程,并对封装后的传感器进行研究分析.测试结果表明:传感器在0～1.4MPa量程内,常温下其灵敏度达到0.571V/V/MPa,非线性度小于0.325％FS,在-40～150℃温度范围内,整体测量误差精度为±0.245％RH,传感器在振动和冲击的环境中工作稳定.
Abstract：Anintegratedceramicpressuresensorisdesignedandprepared.Firstly,thesensitivestructureofthesensorismodelledandsimulatedbasedontheworkingprincipleofcapacitivepressuresensorsandthetheoryofthinplatedeformation.Thedesignedsignalconditioningcircuitisintegratedonaprintedcircuitboard(PCB),whichistightlyattachedtothesensitivestructurebyconductivestructurePINpins,compressionspringsareusedforpinconnection.Aprocesspreparationflowforsensitivestructureofsensorisalsodesignedandtheencapsulatedsensorisstudiedandanalyzed.Thetestresultsshowthatthesensitivityreaches0.571V/V/MPaatroomtemperaturewithintherangeof0～1.4MPa,non-linearityislessthan0.325％FS,theoverallmeasurementerrorprecisionis±0.245％RHinthetemperaturerangeof-40～150℃,thesensorworksstablyinanenvironmentofvibrationandshock.
作者：李鑫标 夏如艇 林树森 杨礼康 徐晨 Author：LIXinbiao XIARuting LINShusen YANGLikang XUChen
作者单位：浙江科技学院机械与能源工程学院,浙江杭州310023台州学院航空工程学院,浙江台州318000浙江沃德尔科技集团股份有限公司,浙江台州318000
刊名：传感器与微系统
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(4)
分类号：TP212
关键词：陶瓷 电容式压力传感器 集成 灵敏度 振动冲击
Keywords：ceramic capacitivepressuresensor integrated sensitivity vibrationandshock
机标分类号：TP212TP311.56S24
在线出版日期：2024年4月26日
基金项目：国家自然科学基金，台州市科技计划资助项目集成式陶瓷压力传感器结构设计与测试分析[
期刊论文] 传感器与微系统--2024, 43(4)李鑫标 夏如艇 林树森 杨礼康 徐晨本文设计并制备了一种集成式陶瓷压力传感器.首先基于电容式压力传感器工作原理和薄板变形理论,对传感器敏感结构进行建模和仿真分析.将设计的信号调理电路集成在印刷电路板(PCB)上,PCB通过导电结构PIN针与敏感结构紧贴...参考文献和引证文献
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