GBT 34893-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法
Micro-electromechanicalsystemtechnology-Measuringmethodforin-planelengthmeasurementsofMEMSmicrostructuresusinganopticalinterferometer

摘要:本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4%，宽深比不低于1:10，且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MEMS微结构。

标准编号：GB/T34893-2017
标准类型：GB
发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2017年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2018年1月1日
关键词：

GB/T 34893-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法.pdf

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