纳米SiO2抛光液的制备及其在蓝宝石CMP中的应用 - 第十三届全国LED产业发展与技术研讨会.pdf
<p>本文介绍了纳米SiO2抛光液的制备方法及其在蓝宝石化学机械抛光（CMP）中的应用。通过优化制备工艺，提高了抛光液的稳定性与均匀性，有效改善了蓝宝石表面的加工质量。实验结果表明，该抛光液能显著降低表面粗糙度，提升抛光效率，为LED器件制造提供了可靠的技术支持。</p>文档为pdf格式，1.1MB，总共4页。</br>
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