石英摆片双面精密抛光工艺技术 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf
<p>论文《石英摆片双面精密抛光工艺技术》介绍了用于高精度传感器的石英摆片制造关键技术。该文探讨了双面同时抛光的工艺方法，提高了加工效率和表面质量。通过优化抛光参数和工艺流程，实现了石英材料的高平整度和低粗糙度。该技术对提升传感器性能具有重要意义，适用于高精度测量和控制领域。</p>文档为pdf格式，1.03MB，总共3页。</br>
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