晶圆级封装的二次布线工艺技术 - 第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议.pdf
<p>论文《晶圆级封装的二次布线工艺技术》探讨了在晶圆级封装中实现二次布线的关键工艺技术。文章分析了二次布线的材料选择、图形化方法及工艺流程，重点解决了高密度互连与良率提升的问题。通过优化光刻、蚀刻和沉积工艺，提高了布线精度和可靠性，为先进封装技术的发展提供了理论支持和实践指导。</p>文档为pdf格式，0.45MB，总共4页。</br>
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