GBT 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法.pdf
<h3>一、基本信息</h3><p>文档名称：GBT 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法</p>
<p>文档格式：pdf格式</p>
<p>文档大小：0.45MB</p>
<p>总页数：11页</p>
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<h3>二、简介</h3>
<p>《GBT 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》是中国国家标准，规定了使用原子力显微镜（AFM）测量溅射薄膜表面粗糙度的技术方法。该标准适用于薄膜材料表面形貌的定量分析，为科研和工业生产提供了统一的测量依据。标准中明确了测试条件、仪器要求、样品制备、测量步骤及数据处理方法，确保测量结果的准确性与可比性。通过该方法，可以有效评估薄膜表面的微观结构特性，广泛应用于半导体、光学镀膜及纳米材料等领域。</p>
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<h3>三、预览</h3>
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