GBT 42720-2023 电子特气 六氯乙硅烷
GBT 42720-2023 电子特气 六氯乙硅烷
标准号：GB/T 42720-2023
标准名：电子特气 六氯乙硅烷
标准英文名：Electronic specialty gas—Hexachlorodisilane
被替代标准：
标准分类：石油化工原料及产品
中国标准分类号：化工
国际标准分类号：化工技术
标准体系分类：国家标准
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
发布部门：国家市场监督管理总局
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、昊华气体有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司等
起草人：万烨、王娟、张园园、付梦月、严大洲、郭琼、陈海宝、魏东亮、柳彤、沙婷等
文件名：GBT 42720-2023 电子特气 六氯乙硅烷.pdf
关键词：
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